低溫等離子體廢氣凈化設(shè)備去除污染物的基本過(guò)程：
等離子體被稱(chēng)為物質(zhì)第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機(jī)氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬(wàn)次至5000萬(wàn)次的速度反復(fù)轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過(guò)多級(jí)凈化，將有害物轉(zhuǎn)化為潔凈的空氣釋放至大自然。
低溫等離子體廢氣凈化設(shè)備工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過(guò)凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無(wú)害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。
電暈放電屬于電極的不對(duì)稱(chēng)放電形式，電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無(wú)毒無(wú)害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項(xiàng)具有極強(qiáng)潛在優(yōu)勢(shì)的高新技術(shù)，等離子體受到了國(guó)內(nèi)外相關(guān)學(xué)科界的高度關(guān)注。
低溫等離子體技術(shù)在廢氣處理中的應(yīng)用隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會(huì)在大氣中停留較長(zhǎng)的時(shí)間，還會(huì)擴(kuò)散和漂移到較遠(yuǎn)的地方，給環(huán)境帶來(lái)嚴(yán)重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對(duì)人體的健康產(chǎn)生極大的危害；另外工業(yè)煙氣的無(wú)控制排放使全球性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨（主要來(lái)源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物）的危害引起了各國(guó)的重視。由于大氣受污染而酸化，導(dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災(zāi)難頻繁發(fā)生，給人類(lèi)造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理方法勢(shì)在必行。
降解揮發(fā)性有機(jī)污染物（VOCs）傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對(duì)于低濃度的VOCs很難實(shí)現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問(wèn)題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢(shì)。但由于等離子體是一門(mén)包含放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)及真空技術(shù)等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因此，目前能成熟的掌握該技術(shù)的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術(shù)處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術(shù)。
等離子凈化器又稱(chēng)低溫等離子廢氣凈化器。
本工藝在電催化總的設(shè)計(jì)概念下，分三個(gè)即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個(gè)激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1、微波激發(fā)區(qū)：本工藝有3至9個(gè)微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風(fēng)量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對(duì)比較高，在納秒的時(shí)間內(nèi)有效作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對(duì)較小，因此在激發(fā)能力上也就是說(shuō)電子的獲能躍遷能力上有限，本設(shè)計(jì)只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過(guò)程中作為一種預(yù)激發(fā)能。由于微波的預(yù)激功能，極大的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運(yùn)用，本工藝在同類(lèi)設(shè)備的比較中顯得設(shè)備精煉而效果優(yōu)越。
2、低溫等離子體激發(fā)：本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無(wú)極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，國(guó)外諸多科研機(jī)構(gòu)室稱(chēng)在常壓下實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗(yàn)分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無(wú)極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，最大限度地在無(wú)極管區(qū)實(shí)現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過(guò)程中具有極強(qiáng)的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是最理想的一種能。在實(shí)踐應(yīng)用中，最大的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內(nèi)充什么樣的氣體最有經(jīng)濟(jì)價(jià)值？這沒(méi)有理論模型可言，只有通過(guò)實(shí)踐、實(shí)驗(yàn)、分析。
根據(jù)被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風(fēng)的作用下，極區(qū)由于負(fù)壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當(dāng)概率的粒子可能實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。
根據(jù)三類(lèi)的功能區(qū)，集中的目的是實(shí)現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實(shí)際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術(shù)與一體，原廢氣的去除率非常理想，根據(jù)測(cè)試，高濃度廢氣去除率可達(dá)84%以上。

電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實(shí)際使用中實(shí)現(xiàn)廢氣的有效處理是極為復(fù)雜的過(guò)程，整個(gè)過(guò)程在不到1秒的時(shí)間內(nèi)完成。從理論到模型都能探究到相關(guān)的機(jī)理，通過(guò)三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E，在千分之一秒的時(shí)間內(nèi)躍遷到足以使其電離的Em級(jí)，廢氣分子鍵充分?jǐn)嗔?，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質(zhì)量更小，被進(jìn)一步躍遷，與反應(yīng)堆內(nèi)的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應(yīng)，生成無(wú)害無(wú)味的CO2、H2O以及其它高價(jià)化合物。同時(shí)由于反應(yīng)堆內(nèi)臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實(shí)地較為廣譜的去除空間。

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